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高氧 化學(xué)氣相沉積等，40L鋼瓶、4L鋼瓶 純度≥99.995% |
氣體主要用于半導(dǎo)體器件的熱氧化、擴(kuò)散、化學(xué)氣相沉積及等離子蝕刻等工藝,還可用于光導(dǎo)纖維、彩色顯像管制造并作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣和零點(diǎn)氣等。